半导体器件表征系统
仪器品牌:美国
仪器简介:有电源,示波器,信号发生器以及放大器组成,可以完成基本的半导体器件电学测试。
基本功能:IV测试,IT测试,迁移率测试
仪器主要技术参数:
1. 数字源表:电压源量程:200mV~200V,分辨率:5μV~5mV;电流源量程:1μA~1A,分辨率:50pA~50μA;0.012%基本测量精度,具有6位半分辨率;20W时性能高达 200V/1A;2线、4线和 6线远程V源和测量传感
2.电压放大器:输入噪声:4 nV/√Hz;频率响应范围:DC-1MHz;最大输入信号:3V;输入阻抗:100MΩ;增益范围:1-50,000;提供输入信号偏置设定,最大±5V;最大输出信号:10V
3. 高速电压放大器:50倍精密放大,输出电压±150V;带宽:DC to 5MHz;输出电流保护,最大输出电流300mA;MEMS、压电驱动等应用的理想方案;高速:压摆率(爬升速率)2000V/u;可用于电容性负载;50欧姆输入阻抗,带保护50欧姆输出阻抗,带电流保护
4. 信号发生器:单通道型号,输出幅度范围 1mVP-P ~ 10VP-P负载;25MHz 正弦波;250MSa/s采样;14位垂直分辨率;内置波形包括正弦、方波、锯齿波、脉冲、噪声和其他常用波形;扫描、突发和调制模式 (AM, FM, PM, FSK 和 PWM)
5. 示波器:1 GHz,4 个模拟通道,高达 1,000,000 波形/秒的更新速率,高达 4 Mpts 的存储器
送样要求:
具有毒性、腐蚀性、刺激性、放射性等对人员和仪器有害的样品须作出说明。
负责人联系方式:李衍爽、19801201865