仪器品牌：中国 沈阳科诚

仪器型号：KC-DZS400

仪器简介：本设备为高真空复合镀膜设备，内含两个金属蒸发源，6穴电子束，3英寸磁控靶。整套设备由真空室腔体，电子束镀膜系统，蒸发源系统，磁控溅射系统，样品台系统，真空泵机组，配气系统，膜 厚检查系统，设备机架，电控系统组成。

基本功能：蒸发镀膜，电子束蒸发镀膜，磁控溅射镀膜

仪器主要技术参数：

1.电子束系统偏转角270 º，阳极电压8KV-10kv可调

2.基片台加热温度500℃

3.膜厚仪：模式：顺序镀膜，探头：2通道；显示以及控制精度：0.01Å/秒，频率分辨率0.01Hz，带有单通道PID环功能，可通过膜厚仪单通道自动控制蒸镀速率；

送样要求：

镀膜基底尺寸小于10*10cm，具有毒性、腐蚀性、刺激性、放射性等对人员和仪器有害的样品须作出说明。

     负责人联系方式：李衍爽、19801201865