仪器品牌：北京卓立汉光

仪器型号：DSR500-LBIC

仪器简介：微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段，通过不同波长激光进行探测，分析表征光电子器件的短路电流分布，表面缺陷， 反射率等参数。并通过扫描获得的图像，分析各种参数的平面均匀性，为光电器件的结构优化提供参考。本设备有着快速扫描，高分辨等特点，可以广泛应用于：单晶硅、多晶硅、非晶硅、有机半导体、染料敏化等各类太阳能电池研究，也可以应用于GaN 等光电器件的研究。对光电探测器的量子效率， 器件的电阻分布特征，研究太阳能电池光生电流的不均匀性，研究器件吸收和电荷生成的微区特性，以及光电材料界面，半导体结区的品质分布等提供可靠的分析数据。激光光束通过扫描透镜，扫描振镜，成像透镜，由显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至电流源表，再通过软件在软件中读出。扫描时，振镜是通过电压控制器控制光束的偏转角度，激光的光斑在样品的XY方向上扫描移动，软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示了样品的电流分布。同时集成了X射线光源

基本功能：

通过不同波长激光/X射线进行探测，分析表征光电子器件的短路电流分布，表面缺陷， 反射率等参数。并通过扫描获得的图像，分析各种参数的平面均匀性，为光电器件的结构优化提供参考

仪器主要技术参数：

     1. 激光器（光源）：标配405nm激光器，能量稳定性1%@4小时

     2. 显微镜模块：反射式/透射式LED照明物镜，标配（20X， WD=7.5mm） 超长工作距离 最大扫描范围：260 x 200 μm （20x物镜下） 位置重复性：小于1 μm最小扫描步长：0.2μm 步长可选范围：0.2-30μm 激光光斑：2μm

     3. 数据采集：电流源表：Keithley 2450，测量范围：1nA・1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA 准确度： 0.03%

     4. 探针台模块：直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，方便样品位置与光斑位置重合，样品位置单独二维移动，方便同类样品更换，样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选

     5. 软件：光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值；I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 指定区域扫描（Mapping）

     6. X射线：小型X射线光源，电压范围40-70 kV，最大功率12W，X射线束锥角：48°。

     送样要求：

      具有毒性、腐蚀性、刺激性、放射性等对人员和仪器有害的样品须作出说明。

      负责人联系方式：李衍爽、19801201865